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碳化硅

SUPERSiC?碳化硅材料通常被用于制造等离子蚀刻电极,花洒头,聚焦圈,热边缘圈,隔离圈以及其他的蚀刻室部件。SUPERSIC是替代硅,石英和其他微晶,改善加工性能的一种理想材料。

 

所有的SUPERSiC?蚀刻室部件都能为OEM厂商定制,应用在新型设备上。


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